Для пригонки радиуса абразивных брусков по обрабатываемому изделию применяют ленту наждачного полотна, которая протягивается между изделием и прижатым к нему абразивным бруском до тех пор пока их радиусы не будут одинаковыми. Для этой же цели можно применять расточную оправку с алмазом. Имеются держатели абразивных брусков, позволяющие производить суперфиниширование изделий диаметром от 5 до 400 мм. Прижим абразивных брусков к обрабатываемому изделию осуществляется механическим, гидравлическим или пневматическим способом. Для обработки стальных изделий применялось давление 1,4-3 кГ/см2; для цветных металлов меньше 1,4 кГ/см2; для легких сплавов — меньше 0,5 кГ/см2. В начале обработки абразивный брусок соприкасается с вершинами неровностей изделия; удельное давление при этом высокое, а несущая поверхность мала, поэтому процесс уменьшения неровностей идет быстро.

Затем площадь соприкосновения абразивного бруска с изделием возрастает и интенсивность срабатывания резко снижается; стружка становится при этом столь мелкой, что сразу же окисляется и в виде окислов участвует в работе бруска. Как видно из графика, длительное суперфиниширование нецелесообразно, так как улучшения чистоты обработанной поверхности не происходит. При большой длительности суперфиниширования качество поверхности изделия может даже ухудшиться.

Для суперфиниширования конических поверхностей применяются приспособления с углом конуса около 11°. Производительность и качество суперфиниширования зависят от способа подготовки поверхности и величины припуска на обработку, который должен быть в пределах 5-10мк. Поверхности необходимо подготовлять к суперфинишированию путем чистового шлифования, так как при подготовке их методом чистовой обточки после суперфиниширования остаются глубокие риски.